磁力驅動(dòng)泵基于MEMS的微驅動(dòng)器研制及其特性研究

    根據被動(dòng)閥微泵的工作原理,提出了一種基于MEMS技術(shù)具 有V型微閥的新型微驅動(dòng)器,對微驅動(dòng)器結構中的PZT復合薄板、微閥 的制作、特性進(jìn)行了工藝模擬,設計了相關(guān)制作工藝及版圖尺寸,并實(shí)現 了微驅動(dòng)器。通過(guò)理論分析給出方形PZT復合薄板的驅動(dòng)電壓與撓度、 復合薄板的厚度與撓度,復合薄板厚度與固有頻率的關(guān)系,為方形硅杯結 構微系統器件的理論與實(shí)驗的進(jìn)一步比較分析提供了參考依據。在研制過(guò) 程中發(fā)現V型微閥設計制作的關(guān)鍵因素是硅各向異性腐蝕技術(shù)與設計尺 寸的關(guān)系,并給出了新型V閥微驅動(dòng)器的流量、背壓等測試方法。結果證 明采用MEMS技術(shù)研制的新型V閥微驅動(dòng)器的工藝方案可行,工藝簡(jiǎn)單、 成本低、體積小,尤其適用于生物醫學(xué)領(lǐng)域。

    磁力驅動(dòng)泵是將永磁聯(lián)軸器的工作原理應用于離心泵的新產(chǎn)品，主要材料有不銹鋼、增強聚丙稀，工程塑料。設計合理、工藝，具有全密封、無(wú)泄漏、耐腐蝕的特點(diǎn)，其性能達到國外同類(lèi)產(chǎn)品的水平。

    主要推薦產(chǎn)品不銹鋼磁力泵,高溫磁力泵,耐腐蝕磁力泵,自吸磁力泵,耐腐蝕液下泵 http://g437.com/